Wouter Hoeffnagel - 10 januari 2022

Recente brand bij ASML mogelijk van invloed op EUV-productie

Recente brand bij ASML mogelijk van invloed op EUV-productie image

De recente brand bij ASML in Duitsland is mogelijk van invloed op de EUV-productie van het bedrijf. Het bedrijf onderzoekt momenteel hoe het de schade voor EUV-klanten tot een minimum kan beperken.

Een fabriek van ASML in het Duitse Berlijn is begin dit jaar getroffen door een brand. Het Nederlandse bedrijf produceert hier onderdeel voor zijn lithografiemachines. De fabriek is sinds 2020 in handen van ASML na het inlijven van Berliner Glas Group.

In een update op zijn website meldt het bedrijf nu dat een deel van de productie van de zogeheten 'wafer clamp', een module van de EUV-systemen van ASML, is getroffen. Het bedrijf is nog bezig met het afronden van zijn herstelplan. ASML onderzoekt hoe het de impact op EUV-klanten kan minimaliseren, zowel wat betreft productie als field service.